一种声驻波驱动的无阀微泵

摘要

本实用新型公开了一种声驻波驱动的无阀微泵，包括驻波腔、压电片、反射器、微泵出口与微泵入口，所述压电片放置于驻波腔的一侧，反射器放置于驻波腔的另一侧，所述驻波腔上还设有微泵出口与微泵入口。本实用新型只需较小的振动位移即可产生较大的压力波动；无活动部件，可靠性高；易于制造；对悬浮粒子损伤小；工作电压低；不发热；对所传输的液体/气体类型没有限制，可用于传输包含DNA及其它生物试样的液体等。

主权项

一种声驻波驱动的无阀微泵，其特征是，包括驻波腔、压电片、反射器、微泵出口与微泵入口，所述压电片放置于驻波腔的一侧，反射器放置于驻波腔的另一侧，所述驻波腔上还设有微泵出口与微泵入口。