涡轮分子泵

摘要

本发明提供一种动叶层和静叶层交互配置而成的涡轮分子泵，该涡轮分子泵可以防止因真空破坏而发生空气冲入运转中的装置的情况时动叶层与静叶层的叶发生接触的事故，而且转子中心部也不会受到过大的离心力，并且泵的排气性能也比现有的提高了。动叶层(1)的动叶(2)中，圆周方向的叶剖面(2a)的形状以如下方式形成：该叶剖面(2a)的前半部分以凸状向旋转方向后方弯曲，并该叶剖面(2a)的后半部以凸状向旋转方向前方弯曲，从而使该叶剖面(2a)的剖面形状形成为S字形或反S字形。

主权项

一种涡轮分子泵，由多层轴流叶栅构成，其特征在于，在形成转子的至少一个动叶层的动叶在所述转子的圆周方向上的叶剖面中，上述动叶的前端部的叶剖面形状以如下方式形成：该前端部叶剖面的上游侧部分的背面侧以凸状向旋转方向后方膨胀凸出，并且该上游侧部分的内面侧以凹状向旋转方向后方凹陷，该前端部叶剖面的下游侧部分的背面侧以凹状向旋转方向前方凹陷，并该下游侧部分的内面侧以凸状向旋转方向前方膨胀凸出，从而使该前端部叶剖面的形状形成为S字形；另外，上述动叶的根部剖面形状以如下方式形成：该根部的叶剖面的上游侧部分的背面侧以凸状向旋转方向后方膨胀凸出，并且该上游侧部分的内面侧形成为无凹处的直线状，进而该根部叶剖面的下游侧部分的内面侧以凸状向旋转方向前方膨胀凸出，并该下游侧部分的背面侧形成为无凹处的直线状；进一步，上述动叶的前端部和该动叶的根部之间的该动叶的侧面由包络面形成，该包络面由连接该前端部的外形曲线和该根部的外形曲线的曲线群形成，而且，该动叶剖面以其叶剖面积从该前端部向该根部依次变大的方式形成。