发明名称 |
超声波转换器以及使用其的超声波诊断装置 |
摘要 |
本发明提供一种电容检测型超声波转换器(C M U T),其实现高发送声压和高接收灵敏度,且使长期驱动下的可靠性提高。其具备:下部电极(201)、形成在所述下部电极上且被绝缘膜(209、208)包围的空洞部(202)、形成在所述空洞部上的上部电极(205)、形成在所述空洞部(202)内的多个绝缘膜的突起(204),其中,具备在所述空洞部上形成的多个刚性部件(203),所述下部电极(201)和所述上部电极(205)之中的至少一方的电极通过对与所述绝缘膜的突起(204)重合的部分进行挖空,从而配置在俯视时不与所述绝缘膜的突起(204)重合的位置上,各个所述刚性部件(203)被配置成存在俯视时与所述绝缘膜的突起(204)重合的区域。 |
申请公布号 |
CN103155597A |
申请公布日期 |
2013.06.12 |
申请号 |
CN201180048454.0 |
申请日期 |
2011.10.13 |
申请人 |
株式会社日立医疗器械 |
发明人 |
竹崎泰一;町田俊太郎 |
分类号 |
H04R19/00(2006.01)I;A61B8/00(2006.01)I;G01N29/24(2006.01)I |
主分类号 |
H04R19/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
刘文海 |
主权项 |
一种超声波转换器,其具备:下部电极、形成在所述下部电极上并被绝缘膜包围的空洞部、形成在所述空洞部上的上部电极、以及形成在所述空洞部内的多个绝缘膜的突起,其特征在于,所述超声波转换器具备形成在所述空洞部上的多个刚性部件,所述下部电极和所述上部电极之中的至少一方的电极通过对与所述绝缘膜的突起重合的部分进行挖空,从而被配置在俯视时不与所述绝缘膜的突起重合的位置,各个所述刚性部件被配置成存在俯视时与所述绝缘膜的突起重合的区域。 |
地址 |
日本东京都千代田区外神田四丁目14番1号101-0021 |