一种宽量程现场真空规校准装置及方法

摘要

本发明涉及一种宽量程现场真空规校准装置及方法，属于测量技术领域。包括气源、减压阀门、微调阀、监测真空计、五个真空截止阀、三个电容薄膜规、稳压室、第一截止阀、机械泵、第二电磁阀、分子泵、全金属角阀、真空室、被校准真空规和真空监测真空规；真空室内有限流抽气小孔；第五真空截止阀内有进气小孔。本发明的方法对真空规的校准范围为105～10-7Pa，在105～10-1Pa范围内的标准不确定度为1.5％，在10-2～10-6Pa范围内的标准不确定度为2.0％，在10-7Pa时的测量不确定度为5％，该方法量程宽、精度高且适合于现场操作；该装置体积小、质量轻。

主权项

一种宽量程现场真空规校准装置，其特征在于：包括气源(1)、减压阀门(2)、微调阀(3)、监测真空计(4)、第一真空截止阀(5)、第一电容薄膜规(6)、第二真空截止阀(7)、稳压室(8)、第一截止阀(9)、机械泵(10)、第二电磁阀(11)、分子泵(12)、全金属角阀(13)、真空室(15)、第二电容薄膜规(16)、第三真空截止阀(17)、第三电容薄膜规(18)、被校准真空规(19)、第四真空截止阀(21)、第五真空截止阀(22)和真空监测真空规(23)；真空室(15)内有限流抽气小孔(14)；第五真空截止阀(22)内有进气小孔(20)；减压阀门(2)的一端与气源(1)通过管路连接，减压阀门(2)的另一端与微调阀(3)的一端通过管路连接，微调阀(3)的另一端与第一真空截止阀(5)的一端、第四真空截止阀(21)的一端和第五真空截止阀(22)的一端通过管路连接；监测真空计(4)与微调阀(3)并联连接；第一真空截止阀(5)的另一端与第二真空截止阀(7)的一端和稳压室(8)的一端通过管路相连；第二真空截止阀(7)的另一端与第一电容薄膜规(6)的一端通过管路相连；稳压室(8)的另一端与第一截止阀(9)的一端通过管路连接；第一截止阀(9)的另一端与分子泵(12)和全金属角阀(13)通过管路连接；机械泵(10)与第二电磁阀(11)的一端通过管路相连；第二电磁阀(11)的另一端与分子泵(12)的一端通过管路相连；分子泵(12)的另一端与全金属角阀(13)的一端通过管路相连；全金属角阀(13)的另一端与真空室(15)通过限流抽气小孔(14)连接；与限流抽气小孔(14)相对应的真空室(15)的另一端与第五真空截止阀(22)通过进气小孔(20)连接；真空室(15)一侧的法兰上连接了第三电容薄膜规(18)，第三电容薄膜规(18)还与第三真空截止阀(17)的一端通过管路连接；第三真空截止阀(17)的另一端与第二电容薄膜规(16)通过管路连接；被校准真空规(19)和监测真空规23安装在真空室(15)上。