基于多加热器的铸锭炉热场结构

摘要

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种基于多加热器的铸锭炉热场结构。该铸锭炉热场结构包括置于炉室内的坩埚，坩埚的热场包括顶部加热器、侧部加热器、位于坩埚底部的热交换台、位于热交换台底部的底部加热器；与顶部加热器及侧部加热器相配合的是红外测温仪，与底部加热器相配合的是红外测温仪或热电偶。本实用新型能够有效监测热场各部分的温度，调整各个加热器的功率输出，建立更加合理的温度梯度，适应大投料量以及大尺寸铸锭趋势，使长晶初期晶核形成更均匀，增大晶粒，减少晶界，改善晶向，降低能耗，最终提高晶锭的品质。

主权项

一种基于多加热器的铸锭炉热场结构，包括置于炉室内的坩埚，坩埚的热场包括顶部加热器、侧部加热器和位于坩埚底部的热交换台；坩埚及热场均置于隔热笼体中，顶部保温板与隔热笼体上端相接、底部保温板与隔热笼体下端活动相接；其特征在于，该热场还包括位于热交换台底部的底部加热器，所述侧部加热器至少有两组；各加热器均设有单独的控制器、测温仪和变压器；其中，与顶部加热器及侧部加热器相配合的是红外测温仪，与底部加热器相配合的是红外测温仪或热电偶。