发明名称 电测治具
摘要 本发明提供一种电测治具,其包括设置有测试探针的电测盘及连接于电测盘的感应装置。该测试探针用于与待电测物体的电测部接触。该感应装置包括感应探针及与感应探针相连的感应器。该感应探针设置于电测盘,用于在测试过程中与待电测物体接触,以供感应器判断待电测物体是否与测试探针相接触。该电测治具可防止测试探针压伤待电测物体,影响待电测物体的表面平整度,从而确保产品的品质。
申请公布号 CN101498762B 申请公布日期 2013.06.12
申请号 CN200810300248.4 申请日期 2008.01.29
申请人 富葵精密组件(深圳)有限公司;臻鼎科技股份有限公司 发明人 王鸣;李文钦
分类号 H01L21/68(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种电测治具,用于对一待电测物体进行电测,所述待电测物体具有线路测试面,所述线路测试面凸出形成有电测部,所述线路测试面上还设有至少一个感应部,所述电测治具包括:一电测盘,所述电测盘包括一第一表面;至少一个测试探针,所述至少一个测试探针设置于所述第一表面上并自所述第一表面伸出,所述至少一个测试探针用于在测试过程中与待电测物体的电测部接触;至少一个感应探针,所述至少一个感应探针也设置于所述第一表面并自所述第一表面伸出,用于在测试过程中与待电测物体的所述至少一个感应部接触;一感应器,所述感应器与所述至少一个感应探针相连,所述感应器用于获取所述至少一个感应探针的感应结果,以判断待电测物体是否与所述至少一个测试探针相接触;所述至少一个感应探针与所述待电测物体接触时,所述至少一个测试探针自所述第一表面伸出的距离为L1,所述电测部自所述线路测试面伸出的高度为H1,所述至少一个感应探针自所述第一表面伸出的距离为L2,所述至少一个感应部自所述线路测试面凸出的高度为H2,其中L2+H2≤L1+H1。
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