| 发明名称 | 纳米结构体器件和用于制造纳米结构体的方法 | ||
| 摘要 | 一种用于在基板(102)上制造多个纳米结构体(101)的方法。所述方法包括以下步骤：在基板(102)的上表面上沉积底层(103)，所述底层(103)包含具有第一平均粒度的晶粒；在所述底层(103)的上表面上沉积催化剂层(104)，所述催化剂层(104)包含具有与所述第一平均粒度不同的第二平均粒度的晶粒，从而形成包含底层(103)和催化剂层(104)的层的堆叠体；将所述层的堆叠体加热至纳米结构体(101)可以形成的温度；和提供包含反应物的气体，以使得所述反应物与所述催化剂层(104)接触。 | ||
| 申请公布号 | CN103154340A | 申请公布日期 | 2013.06.12 |
| 申请号 | CN201080069525.0 | 申请日期 | 2010.10.18 |
| 申请人 | 斯莫特克有限公司 | 发明人 | 穆罕默德·沙菲奎尔·卡比尔 |
| 分类号 | D01F9/127(2006.01)I;C01B31/02(2006.01)I | 主分类号 | D01F9/127(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王旭 |
| 主权项 | 一种用于在基板(102)上制造多个纳米结构体(101)的方法，所述方法包括以下步骤：在所述基板(102)的上表面上沉积底层(103)，所述底层(103)包含具有第一平均粒度的晶粒；在所述底层(103)的上表面上沉积催化剂层(104)，所述催化剂层(104)包含具有与所述第一平均粒度不同的第二平均粒度的晶粒，从而形成包含所述底层(103)和所述催化剂层(104)的层的堆叠体；将所述层的堆叠体加热至纳米结构体(101)可以形成的温度；和提供包含反应物的气体，以使得所述反应物与所述催化剂层(104)接触。 | ||
| 地址 | 瑞典哥德堡 | ||