| 摘要 |
<p>본 고안은 대면적 기판 세정장치의 세정약액 회수장치에 관한 것으로, 압축공기의 접선방향 공급에 따라 양단 각각에서 냉각된 공기와 가열된 공기를 각각 배출하는 에어쿨러와, 배기덕트의 일부를 대체하여 마련되는 회수부 하우징과, 상기 회수부 하우징의 내부에 위치하며, 상기 에어쿨러의 냉각된 공기를 공급받아 상기 배기덕트를 통해 배기되는 미스트를 응축 포집하여 액상의 세정약액으로 상을 전환 시키는 열교환부를 포함한다. 본 고안은 에어쿨러를 사용하여 냉기를 형성하고, 그 냉기를 배기덕트 내에 위치하는 열교환부로 공급하여, 배기덕트를 통해 배기되는 미스트와 공기를 분리함으로써, 세정약액의 회수율을 향상시켜 세정약액의 보충 공급주기를 연장시킬 수 있는 효과가 있다.</p> |
