磁控溅射平面靶材屏蔽罩

摘要

本实用新型涉及一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，包括靶背板，屏蔽罩，四周侧挡板，上方盖板，固定螺钉，所述四周侧挡板为整体结构，上方盖板也为整体结构，所述四周侧挡板由螺钉固定于靶背板上，所述四周侧挡板上侧留有缺口，保证溅射过程中产生的颗粒杂质漏掉，本实用新型的改型磁控溅射平面靶材屏蔽罩，可减小在安装及实际镀膜加热过程中的形变，使其与靶材基座之间距离保持稳定，减少阴阳极之间距离过近而产生打火现象的发生频率。

主权项

一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩，包括靶背板（1），四周侧挡板（2），上方盖板（3），固定螺钉（4），所述上方盖板（3）由固定螺钉（4）固定于四周侧挡板（2）上，其特征在于，所述四周侧挡板（2）为整体结构，上方盖板（3）也为整体结构，所述四周侧挡板（2）由固定螺钉（4）固定于靶背板（1）上。