液氨的填充方法、氮化物结晶的制造方法以及氮化物结晶生长用反应容器

摘要

本发明涉及液氨的填充方法，该方法依次进行下述步骤：向冷凝器中供给气态氨的供给步骤；在冷凝器中将气态氨转化为液氨的液化步骤；将冷凝器中生成的液氨供给至容器中，从而向容器内填充液氨的填充步骤。在该填充方法中，在液化步骤和填充步骤之间进一步进行下述冷却步骤和下述循环步骤，所述冷却步骤将冷凝器中生成的液氨供给至容器，并利用液氨气化产生的潜热来冷却容器；所述循环步骤将冷却步骤中由液氨气化而产生的气态氨供给至冷凝器。

主权项

一种氮化物结晶的制造方法，该制造方法包括下述步骤：利用下述液氨的填充方法向装有原料的容器中填充液氨的氨填充步骤；将在上述氨填充步骤中填充了液氨的上述容器升温以生成氮化物结晶的结晶化步骤，所述液氨的填充方法依次进行下述步骤：向冷凝器中供给气态氨的供给步骤；在上述冷凝器中将上述气态氨转化为液氨的液化步骤；将上述冷凝器中生成的液氨供给至容器中，从而向所述容器内填充液氨的填充步骤，其中，进一步在上述液化步骤和上述填充步骤之间实施下述步骤组(A)、和/或在上述填充步骤之后实施下述步骤组(B)，步骤组(A)：将上述冷凝器中生成的液氨供给至容器中，并利用上述液氨气化产生的潜热冷却上述容器的冷却步骤，以及将上述冷却步骤中由液氨气化而产生的气态氨供给至上述冷凝器的循环步骤；步骤组(B)：在停止液氨向上述容器进出的状态下求出存在于上述氨填充装置内的总氨量M1和存在于上述氨填充装置内除上述容器以外的部分的氨量M2的计量步骤；从上述容器中排出下述量的液氨的填充量调整步骤，所述液氨排出量相当于：上述计量步骤中求出的M1与M2之差M1‑M2、与液氨在容器内的预定填充量MC的差值M1‑M2‑MC。