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发明名称 Deposition chamber.
摘要
申请公布号 EP1889817(B1) 申请公布日期 2013.06.12
申请号 EP20070023348 申请日期 1998.07.10
申请人 AVIZA TECHNOLOGY, INC. 发明人 MILLER, ADAM, Q.;DOBKIN, DANIEL, M.
分类号 C03C17/00;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C03C17/00
代理机构 代理人
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