板材检查方法以及板材检查装置

摘要

本发明的目的是提供一种能够检查在板材的表面的侧端部附近的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的板材检查方法以及板材检查装置。本发明从板材W的表面侧照射反射用的照明光，并且从板材W的背面侧照射背光用的照明光，并且利用摄像部4对包含板材W的表面和比板材W的侧端部更靠外侧的部分的范围S进行摄像。然后，基于此影像，测定在板材W的表面反射的反射光12的光量和比板材W的侧端部Wb更靠外侧的部分的背光11的光量，并且为了使这两个光量变成在同一且预先设定的范围的光量，调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然后，在光量已调节的状态，对包含板材W的表面和比板材W的侧端部Wb更靠外侧的部分的范围进行摄像，基于此摄像的影像检查板材W的缺陷。

主权项

一种板材检查方法，其特征在于，所述板材检查方法是对板材进行摄像，且基于该摄像的影像检查所述板材的板材检查方法，所述板材检查方法包含：对于所述板材，从该板材的表面侧照射反射用的照明光，并且从所述板材的背面侧照射背光用的照明光的步骤；从所述板材的表面侧对包含所述板材的表面和比该板材的侧端部更靠外侧的部分的范围进行摄像的步骤；基于该摄像的影像测定在所述板材的表面反射的反射光的光量和比所述板材的侧端部更靠外侧的部分的光量的步骤；为了使所述反射光的光量和比所述板材的侧端部更靠外侧的部分的光量变成在同一且预先设定的范围的光量，调节所述反射用的照明光和所述背光用的照明光的光量的步骤；在所述光量已调节的状态，对包含所述板材的表面和比所述板材的侧端部更靠外侧的部分的范围进行摄像，基于该摄像的影像检查所述板材的缺陷的步骤。