检漏器

摘要

本发明涉及一探漏器，所述探漏器包括用于探测吸入气体一气体组分（氦）的第一传感器（16）。由于该传感器对饱和或污染敏感，因此提供了第二传感器（38），第二传感器为热导传感器，该热导传感器在气体组分的高浓度下仍然具有一较低的检测灵敏度，因此不会被污染。两个传感器（16，38）一起可探测一个更大的范围，从非常灵敏的测量到气体组分浓度较高的测量，而气体组分浓度较高时则说明发生了较大的泄漏。

主权项

一种具有真空泵（13、53）的探漏器，通过所述真空泵气体被吸入，所述探漏器中一第一传感器（16）用于探测被吸入气体中的至少一种气体组分，所述第一传感器为可渗透气体选择性传感器，其特征在于：提供热导传感器型的一第二传感器（38），以用于探测吸入气体的热导率，以及当所述第一传感器和/或第二传感器检测到所述气体组分浓度大于一限定值时，提供用于将所述第一传感器（16）转换到失效模式的装置，所述第一传感器（16）用于检测所述气体组分的低浓度范围，所述第二传感器用于检测所述气体组分的高浓度范围。