发明名称 感光性树脂组合物及感光性薄膜
摘要 本发明是这样一种感光性树脂组合物,至少由(A’)式(8)表示的聚酰胺酸、(B)抑制溶解剂、(C)感光剂、(D)有机溶剂构成,其中,有机溶剂排除与构成(B)的化合物相同的化合物,(B)抑制溶解剂为酰胺化合物或脲化合物,[化8]<img file="DSB00000601624900011.GIF" wi="1225" he="288" />式(8)中,R<sub>25</sub>表示碳原子数2以上的4价有机基团,R<sub>26</sub>表示碳原子数2以上的2价有机基团。
申请公布号 CN101432659B 申请公布日期 2013.06.12
申请号 CN200780015341.4 申请日期 2007.04.24
申请人 旭化成电子材料株式会社 发明人 宫崎久远;早川隆志
分类号 G03F7/023(2006.01)I;C08G73/06(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H05K3/28(2006.01)I 主分类号 G03F7/023(2006.01)I
代理机构 上海市华诚律师事务所 31210 代理人 侯莉
主权项 1.一种感光性树脂组合物,至少由(A’)式(8)表示的聚酰胺酸、(B)抑制溶解剂、(C)感光剂、(D)有机溶剂构成,其中,有机溶剂排除与构成(B)的化合物相同的化合物,所述(B)抑制溶解剂为酰胺化合物或脲化合物,所述(B)抑制溶解剂的含量相对于所述(A’)聚酰胺酸的羧基1mol为0.1~1.5mol,由该感光性树脂组合物得到的感光层的Tg为83℃以下,[化8]<img file="FSB00001013263400011.GIF" wi="1248" he="315" />式(8)中,R<sub>25</sub>表示从选自苯均四酸二酐、3,3’,4,4’-二苯基四羧酸二酐、2,3,3’,4’-二苯基四羧酸二酐、2,2’,3,3’-二苯基四羧酸二酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四羧酸二酐、2,2’,3,3’二苯甲酮四羧酸二酐、2,2-双(3,4-二羧基苯基)丙烷二酐、2,2-双(2,3-二羧基苯基)丙烷二酐、1,1-双(3,4-二羧基苯基)乙烷二酐、1,1-双(2,3-二羧基苯基)乙烷二酐、双(3,4-二羧基苯基)甲烷二酐、双(2,3-二羧基苯基)甲烷二酐、双(3,4-二羧基苯基)砜二酐、3,3’-羟基二邻苯二甲酸二酐、4,4’-羟基二邻苯二甲酸二酐、2,2-双(4-(4-氨基苯氧基)苯基)丙烷、1,3-二氢-1,3-二氧代-5-异苯并呋喃羧酸-1,4-亚苯基酯、乙二醇-双-偏苯三酸酐酯中的至少一种四羧酸二酐除去了2个酐基的4价有机基团,R26表示从选自1,4-二氨基苯、1,3-二氨基苯、2,4-二氨基甲苯、4,4’-二氨基二苯基甲烷、4,4’-二氨基二苯基醚、3,4’-二氨基二苯基醚、3,3’-二甲基-4,4’-二氨基二苯基、2,2’-二甲基-4,4’-二氨基二苯基、3,7-二氨基-二甲基苯并噻吩-5,5-二氧化物、4,4’-二氨基二苯甲酮、3,3’-二氨基二苯甲酮、4,4’-双(4-氨基苯基)硫化物、4,4’-二氨基二苯基砜、4,4’-二氨基N-苯甲酰苯胺、1,n-双(4-氨基苯氧基)链状烷烃、1,3-双(4-氨基苯氧基)-2,2-二甲基丙烷、1,2-双[2-(4-氨基苯氧基)乙氧基)乙烷、9,9-双(4-氨基苯基)芴、5(6)-氨基-1-(4-氨基甲基)-1,3,3-三甲基茚满、1,4-双(4-氨基苯氧基)苯、1,3-双(4-氨基苯氧基)苯、1,3-双(3-氨基苯氧基)苯、4,4’-双(4-氨基苯氧基)二苯基、4,4’-双(3-氨基苯氧基)二苯基、2,2-双(4-氨基苯氧基苯基)丙烷、双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]砜、4,6-二羟基-1,3-亚苯基二胺、3,3’-二羟基-4,4’-二氨基二苯基、1,4-双(4-氨基苯氧基)戊烷、1,5-双(4-氨基苯氧基)戊烷、双(γ-氨基丙基)四甲基二硅氧烷、1,4-双(γ-氨基丙基二甲基甲硅烷基)苯、双(4-氨基丁基)四甲基二硅氧烷、双(γ-氨基丙基)四苯基二硅氧烷、式(9)表示的二胺中的至少一种二胺除去了2个氨基的2价有机基团,[化11]<img file="FSB00001013263400021.GIF" wi="1705" he="326" />r是2~12的整数。
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