发明名称 |
真空腔体用自旋转装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种真空腔体用自旋转装置,包括旋转托盘、壳体和设于所述壳体内的螺旋状发条、内外斜齿齿轮、定向旋转叉和转动轴,内外斜齿齿轮为环形轮,该环形轮的内、外侧面上分别设有内、外斜齿,该内、外斜齿的倾斜方向相反;转动轴上端固定于旋转托盘上,转动轴下端依次穿过内外斜齿齿轮、发条和外壳;定向旋转叉包括若干个止档部,该定向旋转叉的中心固定于转动轴上,该若干个止档部的末端分别抵靠内斜齿;螺旋状发条的内端固定于转动轴上,外端固定于壳体上;在壳体内侧面上设有若干个棘爪,该若干个棘爪的末端抵靠外斜齿。该真空腔体用自旋转装置,其不仅结构简单,而且能满足转动顺畅和转动时的气密性要求。 |
申请公布号 |
CN202991369U |
申请公布日期 |
2013.06.12 |
申请号 |
CN201220594567.2 |
申请日期 |
2012.11.13 |
申请人 |
昆山光微电子有限公司 |
发明人 |
卢狄克;焦斌斌;李志刚;尚海平;孔延梅 |
分类号 |
F03G1/02(2006.01)I |
主分类号 |
F03G1/02(2006.01)I |
代理机构 |
昆山四方专利事务所 32212 |
代理人 |
盛建德 |
主权项 |
一种真空腔体用自旋转装置,其特征在于:包括旋转托盘(1)、壳体(2)和设于所述壳体内的螺旋状发条(3)、内外斜齿齿轮(4)、定向旋转叉(5)和转动轴(6),所述内外斜齿齿轮为环形轮,该环形轮的内侧面沿其周向依次设有朝向同一方向的若干个内斜齿(41),该环形轮的外侧面上沿其周向依次设有朝向同一方向的若干个外斜齿(42),且该环形轮的内斜齿和外斜齿的倾斜方向相反;所述转动轴上端固定于所述旋转托盘上,所述转动轴下端依次穿过所述内外斜齿齿轮、发条和外壳;所述定向旋转叉包括若干个止档部(51),该定向旋转叉的中心固定于所述转动轴上,该定向旋转叉的若干个止档部的末端分别抵靠所述内外斜齿齿轮的内斜齿上使所述内外斜齿齿轮仅能相对该定向旋转叉朝与所述内斜齿倾斜方向相同的方向旋转而朝另一个相反的方向止转;所述螺旋状发条的内端固定于所述转动轴上,所述螺旋状发条的外端固定于所述壳体上;在所述壳体内侧面上设有若干个棘爪(7),该若干个棘爪的末端抵靠所述内外斜齿齿轮的外斜齿使该内外斜齿齿轮仅能相对所述棘爪朝向与所述外斜齿的倾斜方向相同的方向旋转而朝向另一个相反的方向止转。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市周庄镇大桥路145号 |