一种由四氯化硅制备三氯氢硅的冷氢化系统

摘要

本实用新型公开了一种由四氯化硅制备三氯氢硅的冷氢化系统，所述系统包括供料设备、氢化反应器和尾气处理设备，所述供料设备将反应物料连续输送至所述氢化反应器，所述氢化反应器使反应气体和所述反应物料反应得到三氯氢硅，所述尾气处理设备包括依次连接的气体过滤装置、冷凝装置以及分离塔，所述气体过滤装置内设有陶瓷滤芯，所述冷氢化系统还包括热量回收利用装置。根据本实用新型示例的冷氢化系统，由于采用设置有陶瓷滤芯的气体过滤装置，而陶瓷滤芯具有耐高温，耐腐蚀的优良特性，而且材质稳定，因此不会对多晶硅产品质量造成影响；且由于设置有热量回收利用装置，可以在物料运输过程中进行热量回收利用，降低能耗，减少环境污染。

主权项

一种由四氯化硅制备三氯氢硅的冷氢化系统，其特征在于，所述系统包括供料设备、氢化反应器和尾气处理设备，所述供料设备将反应物料连续输送至所述氢化反应器，所述氢化反应器使反应气体和所述反应物料反应得到三氯氢硅，所述尾气处理设备包括依次连接的气体过滤装置、冷凝装置以及分离塔， 其中，所述气体过滤装置内设有陶瓷滤芯，所述气体过滤装置将来自所述氢化反应器的合成尾气进行过滤后输送给所述冷凝装置， 所述冷凝装置将过滤后的合成尾气分离为液态的氯硅烷与气态的氢气， 所述分离塔将液态的氯硅烷进行分离提纯，得到三氯氢硅和富含四氯化硅的高沸物， 所述冷氢化系统还包括热量回收利用装置，所述热量回收利用装置分别与所述氢化反应器的出气口和所述气体过滤装置的进气口相连。