用于测量超连续谱光源光束质量的测量装置和方法

摘要

本发明涉及超连续谱光源光束质量的测量技术，提供一种用于测量超连续谱光源光束质量的测量装置和方法。测量装置包括光谱仪、反射镜、宽波段分光棱镜、近场面阵CCD、远场面阵CCD和用于处理测量信息的计算机。测量方法包括：使用光谱仪对超连续谱光源的光谱进行测量，根据测量结果求得光谱重心；使用面阵CCD对近场光场分布以及远场光场分布进行测量，求得近场光斑半径与远场发散角；构造理想高斯基模光束，计算SC-M2因子，使用SC-M2因子对超连续谱光源光束质量进行评价。本发明可以对宽光谱超连续谱光源的光束质量进行整体评价，而不是仅仅对光源中某些光谱成分的光束质量进行评价与测量。

主权项

一种用于测量超连续谱光源光束质量的测量装置，其特征在于：包括光谱仪（2）、反射镜（3）、宽波段分光棱镜（4）、近场面阵CCD（5）、远场面阵CCD（6）和用于处理测量信息的计算机（7）；所述光谱仪（2）用于测量所述超连续谱光源的光谱；所述超连续谱光源输出的超连续谱光束经反射镜（3）进行准直扩束，再经过宽波段分光棱镜（4）进行分光得到反射光束和透射光束，所述反射光束由近场面阵CCD（5）测量近场光场分布，所述透射光束由远场面阵CCD（6）测量远场光场分布；所述远场面阵CCD（6）距离所述反射镜（3）的距离大于所述超连续谱光源光束的瑞利距离；所述计算机（7）根据所述超连续谱光源的光谱、所述近场光场分布和所述远场光场分布计算得到测量结果。