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发明名称 Procédé de préparation d'un carbure de silicium de grande pureté
摘要
申请公布号 FR1269376(A) 申请公布日期 1961.08.11
申请号 FR19600833066 申请日期 1960.07.15
申请人 WACKER-CHEMIE G. M. B. H. 发明人
分类号 C01B31/36;H01L21/00 主分类号 C01B31/36
代理机构 代理人
主权项
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