带电粒子线用试样装置

摘要

本发明提供在FIB与SEM之间以遮蔽环境的状态转移试样容易的带电粒子线用试样装置。在通过闸门与FIB（1）或SEM的试样室（4）连通的试样更换器（5）中设置用于装卸与外部空气遮蔽的环境遮蔽试样支架（7）的盖（9）的环境遮蔽单元（10），只通过推试样更换棒（11）卸下盖（9），只将试样支架（7）固定在试样室（4）内。环境遮蔽试样支架（7）在与空气遮蔽的环境中、例如在真空中搭载了试样后，通过盖上盖（9）而遮蔽试样与外部空气，在该状态下只通过推试样更换棒（11）能够在FIB（1）或SEM内进行试样的加工及观察，并且通过在拉出试样更换棒（11）时利用环境遮蔽单元（10）盖上盖（9），保持试样与外部空气的遮蔽状态。

主权项

一种带电粒子线用试样装置，其在聚集离子束加工观察装置即FIB与扫描电子显微镜即SEM之间转移试样，该带电粒子线用试样装置的特征在于，具备与上述FIB或上述SEM的试样室连通，且能形成与外部空气隔离的环境的试样更换器，该试样更换器具备下述机构：在以盖上盖的状态搬入使试样与外部空气隔离的环境遮蔽试样支架时，在与外部空气隔离的环境下取下上述盖。