发明名称 | 带隔离系统的光罩盒 | ||
摘要 | 本发明提供一种光罩容器,其配备有辅助容器,所述辅助容器容纳光罩并容纳于主容器中。所述辅助容器通过震动及振动隔离部件固持于主容器内,从而使所述辅助容器在主容器内具有多个运动自由度。所述光罩紧固于所述辅助容器内部,从而使从光罩容器传递至光罩的震动及振动得到实质衰减。 | ||
申请公布号 | CN101166681B | 申请公布日期 | 2013.06.12 |
申请号 | CN200680013975.1 | 申请日期 | 2006.02.27 |
申请人 | 安堤格里斯公司 | 发明人 | B·格雷格森;D·哈伯梅尔;S·森纳;B·怀斯曼;A·M·蒂本;J·斯特里克 |
分类号 | B65D85/00(2006.01)I | 主分类号 | B65D85/00(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 闻卿 |
主权项 | 一种用于支撑衬底以提供震动及振动隔离的装置,所述装置的特征是包含:主盒,其包含配置有下凹内表面的封盖以及基座,所述封盖适于可移开地啮合所述基座,以于所述下凹内表面与所述基座之间界定第一密封壳体,所述基座具有其中容纳有闩锁机构的内部;辅助盒,其包含下部及上部,所述上部适于啮合所述下部,以界定用于容纳所述衬底的第二外壳,所述下部包含支撑结构以在上面固持衬底,且所述上部包含固定结构以用于在所述上部与所述下部啮合时固定所述衬底;以及多个弹性耦合件,从所述主盒的所述基座向上延伸至所述辅助盒的所述下部,另外多个弹性耦合件从所述封盖向下延伸至所述上部,提供所述辅助盒包含所述上部及所述下部二者相对于所述主盒的主位置,所述辅助盒包含所述下部及所述上部二者可因震动或振动而可返回地移离所述主位置,所述多个弹性耦合件从所述基座向上延伸提供所述下部的弹性支撑,所述另外多个弹性耦合件从所述封盖向下延伸提供所述上部的弹性支撑,所述多个弹性耦合件及所述另外多个弹性耦合件为所述辅助盒包含所述下部及所述上部二者提供唯一的支撑,并为所述辅助盒包含所述上部及所述下部二者提供在所述主盒中的多个位移自由度。 | ||
地址 | 美国明尼苏达州 |