| 发明名称 | 氧化物薄膜制备用组合物及使用该组合物的氧化物薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 涉及氧化物薄膜制备用组合物以及使用该组合物的氧化物薄膜的制备方法。更具体而言，本发明涉及(1)复合氧化物薄膜制备用组合物以及使用该组合物的氧化物薄膜的制备方法(本发明的第一方式)、(2)氧化锌薄膜制备用组合物和掺杂氧化锌薄膜制备用组合物以及使用这些组合物的氧化锌薄膜的制备方法(本发明的第二方式)、(3)氧化锌薄膜制备用组合物和掺杂氧化锌薄膜制备用组合物以及使用这些组合物的氧化锌薄膜的制备方法(本发明的第三方式)。 | ||
| 申请公布号 | CN103153865A | 申请公布日期 | 2013.06.12 |
| 申请号 | CN201180050611.1 | 申请日期 | 2011.10.19 |
| 申请人 | 东曹精细化工株式会社 | 发明人 | 稻叶孝一;丰田浩司;羽贺健一;德留功一;吉野贤二;竹元裕仁 |
| 分类号 | C01G15/00(2006.01)I;C01G9/02(2006.01)I;C07F3/06(2006.01)I;C07F5/00(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/368(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I | 主分类号 | C01G15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 蔡晓菡;孟慧岚 |
| 主权项 | 复合氧化物薄膜制备用组合物，以IIIA族元素与锌的摩尔比超过0.1且为5以下的方式含有：下述通式(1)所示的有机锌化合物或所述有机锌化合物的通过水得到的部分水解物、和IIIA族元素化合物或IIIA族元素化合物的通过水得到的部分水解物，R1‑Zn‑R1 (1)式中，R1是碳原子数为1～7的直链或支链的烷基。 | ||
| 地址 | 日本山口县周南市 | ||