硅片清洗水循环系统

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗水循环系统，包括带有水槽的硅片排片机，所述水槽上设有与循环泵连接进水管道和回水管道，所述进水管道的进水口处设有滤网，所述滤网为筒状，所述筒状滤网的底部安装在所述进水管道的进水口处，所述滤网的上沿与所述水槽的上沿齐平。由于在进水管道的进水口处设有滤网，水槽中混杂的残胶、标签及其他悬浮物被滤网过滤，干净的水进入进水管道中，避免了进水管路和循环泵堵塞；由于滤网为筒状，杂质被筒状滤网的筒壁过滤，再进入进水管中，滤网的面积大，滤网的网孔不易堵塞，过滤效果好。

主权项

硅片清洗水循环系统，包括带有水槽的硅片排片机，所述水槽上设有与循环泵连接的进水管道和回水管道，其特征在于：所述进水管道的进水口处设有滤网，所述滤网为筒状，所述筒状滤网的底部安装在所述进水管道的进水口处，所述滤网的上沿与所述水槽的上沿齐平。