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发明名称 CARRIER FLUIDS FOR ABRASIVES
摘要 The invention relates to improved novel carrier fluids for abrasives, especially cutting fluids, for wafer production. The invention also relates to the use of said fluids and to a method for cutting wafers.
申请公布号 EP2601280(A1) 申请公布日期 2013.06.12
申请号 EP20110738239 申请日期 2011.08.02
申请人 BASF SE 发明人 SEELMANN-EGGEBERT, HANS-PETER;SENF, ANDREAS;ROESCH, MARKUS;BENTELE, JOACHIM;SCHMIDT, KATI;STEFANOWSKI, UDO
分类号 C10M107/30 主分类号 C10M107/30
代理机构 代理人
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