| 摘要 |
一种快速温度程序(RTP)加热系统及方法，主要系用以对一光伏元件中间产品加热，该光伏元件中间产品具有一玻璃基板、一层钼(Mo)层以及成形中的一层光吸收层，该加热系统包含有：一腔室；一承台，位于该腔室内且用以对该光伏元件中间产品的下表面进行加热；至少一加热元件，设置于该腔室内，系发出红外线来加热，并且红外线有大部分会被该钼层所反射，而减少直接对该玻璃基板的加热；复数温度感测器以及一控温装置，用以感测并控制该加热元件以及该承台所发出的热源。藉此，在加热方法上，可分别对该光伏元件中间产品的上表面以及下表面进行不同温度的加热，使得位于该光伏元件中间产品下方的玻璃基板不会软化变形，上方的钼层上又能制造光吸收层。 |
