曝光用光源装置

摘要

【课题】提供一种高输出的平行光曝光用光源，作为取代灯泡的发光源而使用复数个平面发光元件，使用该平面发光元件与光学系。;【解决手段】;实装于基板1上的复数个平面发光元件所发出的光作为发光源，将该光线从接近该平面发光元件而配置的光学多角柱3的端面入射，由光学多角柱3使照度平均化。从光学多角柱3的其他端面射出的光9由透镜4聚光而照射至曲面镜5，由曲面镜5将光线变成平行光，而将平行光11照射至光罩6。由照射至光罩6的平行光11进行曝光，将绘于光罩6的图案转写至形成于基板7上的感光膜。