电离规

摘要

本发明涉及一种电离规，其包括阴极，栅极和离子收集极，该栅极位于阴极与离子收集极之间且靠近阴极。阴极，栅极和离子收集极分别相向间隔设置，其中，阴极包括基底及场发射材料薄膜，该场发射材料薄膜系面向离子收集极而设置于基底上。所述的电离规，藉由场发射阴极发射电子，具有低功耗、低放气率及良好的线性等优点，适合测量中真空环境。