具有模组化线性光源之曝光装置

摘要

一种具有模组化线性光源之曝光装置，包括一模组化线性光源，模组化线性光源包含一基座、至少一设置在基座上之半导体发光元件；及一朝向该半导体发光元件之发光面设置之导光模组，导光模组用以将半导体发光元件发出之光线均匀化为一供曝光用途之线形光。由于模组化线性光源是采用半导体发光元件，具有低耗能及环保等优点，且光源采用模组化之设计易于组装及置换，有利于曝光装置的检修及小型化设计。