大流体输送装置

摘要

本案系为一种大流体输送装置，其系包含：阀体座，具有微凸结构；阀体盖体，具有压力腔室以及微凸结构；阀体薄膜，设置于阀体座及阀体盖体之间，具有至少一个阀开关结构，其杨氏系数系为2至240Gpa，厚度系为10 μm至50 μm，阀开关结构与微凸结构相抵触以形成一预力，使阀开关结构与阀体座及阀体盖体之间形成一间隙，其距离系为10 μm至790 μm；以及致动装置，包含致动器以及振动薄膜；其中，当施以操作频率10－50Hz于致动装置之致动器上，致动装置将致使压力腔室体积改变，进而驱动阀开关结构之启闭，以使流经压力腔室之流体系达到5cc/min以上的大流量传输。