具有钻石材料之散热结构及其制造方法

摘要

一种具有钻石材料之散热结构及其制造方法，包括提供一基材；形成一钻石膜于基材上，且钻石膜的其中一侧面系为粗糙面；在钻石膜的粗糙面上以物理气相沉积方式形成一第一金属层；形成一第二金属层于第一金属层上；移除全部或部分的基材，以形成一具有高散热效能之散热结构。本发明亦提供制作上述具有钻石材料之散热结构。