氮化镓立体磊晶结构及其制作方法

摘要

一种氮化镓立体磊晶结构及其制作方法，系包含一配置步骤将一铝酸锂基板及一镓金属源配置于高度真空之一容室内；一通气步骤使一氮源产生电浆态之氮离子后通入该容室内；一加热步骤加热该镓金属源至产生气态镓；及一长晶步骤使位于该容室内之气态镓与电浆态之氮离子共同于该铝酸锂基板上形成六角锥状或六角锥柱状之氮化镓立体磊晶结构。