| 摘要 |
一种直度误差量测装置，特别系指一种兼具低成本与高精度的直度误差量测装置，其系将一光学读头固定于线性运动平台上，且于该运动平台滑设之鞍座上设有一具反光作用之反射元件，又前述光学读头具有一准直光源、一聚焦透镜及一光点位置感测器，且前述反射元件位置位于穿经聚焦透镜后形成聚焦光束之光行程的一半，而光点位置感测器可接收该经反射元件反射之聚焦光束光点，透过前述的设计，当光学读头之光源向聚焦透镜射出准直光束后，可利用聚焦透镜向反射元件发出一道聚焦光束，且令该聚焦光束经反射元件反射后之聚焦光束由该光点位置感测器接收，以藉由光点位置感测器量测反射之聚焦光束中心光点偏移位置变化，进而计算运动平台水平方向的直度误差，且达到线上即时量测之目的。 |
