发明名称 感光性树脂组合物及使用其之感光性树脂积层体
摘要 本发明提供一种能够形成图案、以乾膜形式形成时感光性树脂组合物较为柔软、即使对该膜进行切割亦可充分抑制切屑之产生之感光性树脂组合物。本发明之感光性树脂组合物系含有(A)硷溶性酚树脂,(B)含1,2-萘醌二叠氮基之感光剂,及(C)侧链上具有源自芳香族羟基化合物之基之硷溶性树脂而成者;以及/或者含有(A)硷溶性酚树脂,(B)含1,2-萘醌二叠氮基之感光剂,及(D)由选自双酚A、双酚E、双酚F及双酚S以及将该等氢化而获得之化合物所组成之群的至少一种化合物所衍生并且末端具有至少1个羟基之化合物而成者。
申请公布号 TWI398725 申请公布日期 2013.06.11
申请号 TW098111861 申请日期 2009.04.09
申请人 旭化成电子材料股份有限公司 日本 发明人 秦洋介;井出阳一郎
分类号 G03F7/004;G03F7/022;C07C39/15;C08F212/14;G03F7/09;H01L21/027;H05K3/06 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本