Method for controlling periodicity in the superlattice structures of II InAs(In)GaSb type

摘要

Przedmiotem wynalazku jest sposób kontroli periodycznosci w strukturach supersieci II rodzaju InAs/(In)GaSb. Sposób jest przeznaczony dla supersieci (superlattice-SL) wykonanych w stabilnych warunkach technologicznych, zoptymalizowanych dla danej pary materialowej tworzacej SL, o grubosci calkowitej powyzej 500 nm. W sposobie tym najpierw, korzystnie za pomoca wysokorozdzielczej dyfraktometrii rentgenowskiej sporzadza sie dyfraktogram struktury i sprawdza sie, obecnosci pików satelitarnych wysokich rzedów i pików interferencyjnych. Nastepnie po ich zlokalizowaniu sporzadza sie, korzystnie takze za pomoca wysokorozdzielczej dyfraktometrii rentgenowskiej co najmniej jedna mape sieci odwrotnej struktury zawierajaca co najmniej dwa piki satelitarne wysokich rzedów pochodzace od rozproszenia koherentnego promieniowania rentgenowskiego i sprawdza sie obecnosc obszarów rozpraszania dyfuzyjnego wokól tych pików oraz ich ksztalt geometryczny. Periodycznosc struktur InAs/GaSb identyfikuje sie na podstawie obszarów rozproszenia dyfuzyjnego o okreslonym ksztalcie geometrycznym.