Vorrichtung zum Bearbeiten eines Substrats und Verfahren hierzu

摘要

Bei einer Vorrichtung zum Bearbeiten, insbesondere Ätzen und oder Entwickeln von Substraten (17), insbesondere Wafern, insbesondere Ätzen und oder Entwickeln, mit einem Drehteller (1) soll der Drehteller (1) einen Venturi-Spalt (3) aufweisen.