Statischer Kondensator-Drucksensor

摘要

Kondensator-Drucksensor mit–einem aktiven Kondensator (100), der zwischen einer Membranelektrode (120a) und einer stationären Elektrode (30b) gebildet ist und dessen Kapazität sich mit dem Umgebungsdruck ändert,–einem Referenzkondensator (200), der zwischen einer oberen Elektrode (60a) und einer unteren Elektrode (30a) gebildet ist und dessen Kapazität sich im Wesentlichen nicht mit dem Umgebungsdruck ändert, und–einer Schaltung (300), die sowohl mit dem aktiven Kondensator (100) als auch mit dem Referenzkondensator (200) elektrisch verbunden ist, und deren Differenz oder Verhältnis zueinander erfasst, wobei–der aktive Kondensator (100), der Referenzkondensator (200) und die Schaltung (300) gemeinsam auf dem Halbleitersubstrat (10) ausgebildet sind, und–die untere Elektrode (30a) des Referenzkondensators (200) und die stationäre Elektrode (30b) des aktiven Kondensators (100) von dem Halbleitersubstrat (10) durch ein Dielektrikum (20) getrennt sind.