溅镀载具及包括该溅镀载具的溅镀装置

摘要

本发明涉及一种溅镀载具及包括该溅镀载具的溅镀装置。该溅镀装置还包括驱动装置。该溅镀载具包括顶盖、底盖、多个容置件及多个挡板。该底盖与顶盖相对。该多个容置件相互隔开，用于收容待镀工件。各容置件的两端分别转动地连接于顶盖和底盖。各挡板设于相邻两容置件之间，且两端分别连接于顶盖和底盖，其与该顶盖、底盖和多个容置件配合围合形成封闭腔体。该驱动装置与该溅镀载具相连，用于驱动该溅镀载具围绕平行于顶盖和底盖中轴线的直线转动，并驱动各容置件还同时绕自身中轴线转动。本发明的溅镀装置可避免靶材之间毒化，提高镀膜品质。

主权项

一种溅镀载具，其包括顶盖、底盖、多个容置件及多个挡板，该底盖与顶盖相对，该多个容置件相互隔开，用于收容待镀工件，各容置件的两端分别转动地连接于顶盖和底盖，各挡板设于相邻两容置件之间，且两端分别连接于顶盖和底盖，该挡板与该顶盖、底盖和多个容置件配合围合形成封闭腔体。