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发明名称 Procédé d'incorporation d'impuretés ou dopes, en particulier dans des métaux ou des corps semi-conducteurs
摘要
申请公布号 FR1285109(A) 申请公布日期 1962.02.16
申请号 FR19610857205 申请日期 1961.03.29
申请人 WACKER-CHEMIE G.M.B.H. 发明人
分类号 C30B13/10;H01L21/00 主分类号 C30B13/10
代理机构 代理人
主权项
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