发明名称 |
一种光机系统对心装置和方法 |
摘要 |
一种光机系统,包括对心装置、多个转折单元、多个调焦结构和多个需要对心的镜头组,其中,对心装置具有对心结构,每个镜头组都具有至少两个镜片。本发明的对心装置不需要转台,导轨和更换物镜,可实现镜片的偏心检测,同时可以解决传统定心仪无法实现空间上有转折或不易采用旋转法测量的系统的装调。 |
申请公布号 |
CN103135359A |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201110394360.0 |
申请日期 |
2011.12.02 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
张冲;李志丹;陈飞彪 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 11278 |
代理人 |
王光辉 |
主权项 |
一种光机系统,包括左右照明单元、左右标记板、左右转折单元、左右调焦结构、分合束单元、对心装置、物镜组和目镜组;左照明单元、左标记板、左转折单元、左调焦结构、分合束单元、物镜组和目镜组构成左侧光路;右照明单元、右标记板、右转折单元、右调焦结构、分合束单元、物镜组和目镜组构成右侧光路;左右光路的光在分合束单元处合束并入射至目镜组后从出瞳位出射;其中左右标记板的中心有十字标记及刻度,目镜组具有一测量分划板,其中心具有十字标记,十字标记上具有刻度尺,且在光轴方向上与标记板的中心重合和同轴,两个调焦结构可独立调节。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 |