一种高精度测量调整光学镜片中心偏差的光学系统

摘要

一种高精度测量调整光学镜片中心偏差的光学系统，属于光学检验测量技术领域中涉及的一种镜片中心偏差测量调整的光学系统。本发明要解决的技术问题是：提供一种高精度测量调整镜片中心偏差的光学系统。技术方案包括：光源、聚焦镜、针孔、准直透镜、半波片、偏振分束器、两个四分之一波片、三个平面反射镜、平面转向镜、两个会聚透镜、两个分束器、两个遮光板、被测镜片、两个面阵接收器、透镜、检偏器。上述器件组合构成参考光路和测量光路，通过由被测镜片反射的测量光与参考光干涉测量被测镜片的中心偏差。该光学系统提高了测量精度，扩大了测量范围，简化了测量过程。

主权项

一种高精度测量调整光学镜片中心偏差的光学系统，包括被测镜片(20)；其特征在于还包括光源(6)、聚焦镜(7)、针孔(8)、准直透镜(9)、半波片(10)、偏振分束器(11)、第一四分之一波片(12)、第一平面反射镜(13)、第二四分之一波片(14)、平面转向镜(15)、第一会聚透镜(16)、第一分束器(17)、第二平面反射镜(18)、第一遮光板(19)、第二遮光板(21)、第三平面反射镜(22)、第二会聚透镜(23)、第二分束器(24)、第一面阵接收器(25)、透镜(26)、检偏器(27)、第二面阵接收器(28)；在光源(6)光束传播方向的光轴上，从左至右依次放置聚焦镜(7)、针孔(8)、准直透镜(9)、半波片(10)、偏振分束器(11)、第二四分之一波片(14)、平面转向镜(15)；其中偏振分束器(11)与光轴成45°角放置， 平面转向镜(15)与光轴成22.5°角放置；在偏振分束器(11)反射光的光路上依次放置第一四分之一波片(12)、第一平面反射镜(13)；在偏振分束器(11)反射来自平面转向镜(15)反射回来光的光轴方向上依次放置第二会聚透镜(23)、第二分束器(24)、透镜(26)、检偏器(27)和第二面阵接收器(28)； 第二分束器(24)置于第二会聚透镜(23)和透镜(26)之间且与光轴成45°度角，在第二分束器(24)的反射光的光路上置有第一面阵接收器(25)；平面转向镜(15)转折光轴，使转折后光轴与转折前光轴成135°角；第一会聚透镜(16)位于平面转向镜(15)转折后的光轴上，第一分束器(17)与第一会聚透镜(16)光轴成45°角；第二平面反射镜(18)置于第一分束器(17)反射光的光路上，反射面与光轴成67.5°角，第三平面反射镜(22)置于第一分束器(17)透射光的光路上，反射面与光轴成67.5°角，使第二平面反射镜(18)到第一分束器(17)的距离和第三平面反射镜(22)到第一分束器(17)的距离相等，第二平面反射镜(18)和第三平面反射镜(22)的反射光的光轴重合在同一条直线上；第一遮光板(19)置于第二平面反射镜(18)的反射光的光路上，第一遮光板(19)的工作面与第二平面反射镜(18)的反射光光轴垂直；第二遮光板(21)置于第三平面反射镜(22)的反射光的光路上，第二遮光板(21)的工作面与第三平面反射镜(22)的反射光光轴垂直；被测镜片(20)置于第一遮光板(19)和第二遮光板(21)中间的位置上。