发明名称 |
芯片接合装置 |
摘要 |
一种芯片接合装置,具有一供应模块与一给料模块,一旋转模块设于供应模块与给料模块之间,旋转模块具有至少两个取放模块,一第一视觉定位模块设于给料模块的上方;至少两个取放模块受到旋转模块的连动,故当其中一个取放模块进行沾胶或黏设的动作时,另一取放模块得以进行吸取或沾胶的动作,故能够使得黏晶作业具有一顺畅度,以确保最佳黏晶精准度并提高黏晶作业的产能。 |
申请公布号 |
CN103137502A |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201310071981.4 |
申请日期 |
2013.03.07 |
申请人 |
苏州均华精密机械有限公司 |
发明人 |
石敦智 |
分类号 |
H01L21/58(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/58(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
马明渡 |
主权项 |
一种芯片接合装置,用于黏附至少一晶粒,其特征在于:所述芯片接合装置包括:一供应模块;一给料模块,设于所述供应模块的一侧;一旋转模块,设于所述供应模块与给料模块之间;至少两个取放模块,设于所述旋转模块;以及一第一视觉定位模块,设于所述给料模块的上方。 |
地址 |
215101 江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路777号金枫高新产业园H幢1楼 |