发明名称 芯片接合装置
摘要 一种芯片接合装置,具有一供应模块与一给料模块,一旋转模块设于供应模块与给料模块之间,旋转模块具有至少两个取放模块,一第一视觉定位模块设于给料模块的上方;至少两个取放模块受到旋转模块的连动,故当其中一个取放模块进行沾胶或黏设的动作时,另一取放模块得以进行吸取或沾胶的动作,故能够使得黏晶作业具有一顺畅度,以确保最佳黏晶精准度并提高黏晶作业的产能。
申请公布号 CN103137502A 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201310071981.4 申请日期 2013.03.07
申请人 苏州均华精密机械有限公司 发明人 石敦智
分类号 H01L21/58(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/58(2006.01)I
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人 马明渡
主权项 一种芯片接合装置,用于黏附至少一晶粒,其特征在于:所述芯片接合装置包括:一供应模块;一给料模块,设于所述供应模块的一侧;一旋转模块,设于所述供应模块与给料模块之间;至少两个取放模块,设于所述旋转模块;以及一第一视觉定位模块,设于所述给料模块的上方。
地址 215101 江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路777号金枫高新产业园H幢1楼