一种可调式夹具

摘要

本发明所涉及的可调式夹具，安装在真空镀膜机中的夹具承载座上，对基片进行夹持，其特征在于，具有：连接单元，与夹具承载座相连接；固定构件，呈半工字型形状，包括与连接单元固定相连并为中空结构的第一上横向臂、第一下横向臂、第一竖向臂；滑动构件，呈半工字型形状，含有与第一上横向臂相套接的第二上横向臂、第二下横向臂、第二竖向臂；拉力构件，一端与第一竖向臂相连，另一端与第二上横向臂相连；以及两个对向设置的夹持构件，分别安装在第一下横向臂的另一端和第二下横向臂的另一端，夹持构件包括：与第一下横向臂的另一端相连的槽型架和用于对基片在厚度方向上进行加紧的加紧单元。

主权项

一种可调式夹具，安装在真空镀膜机中的夹具承载座上，对基片进行夹持，其特征在于，具有：连接单元，与所述夹具承载座相连接；固定构件，呈半工字型形状，包括与所述连接单元固定相连并为中空结构的第一上横向臂、第一下横向臂、分别与所述第一上横向臂和所述第一下横向臂的远离所述连接单元的一端一体连接的第一竖向臂；滑动构件，呈半工字型形状，含有与所述第一上横向臂相套接的第二上横向臂、第二下横向臂、分别与所述第二上横向臂和所述第二下横向臂的远离所述第一上横向臂的一端一体连接的第二竖向臂；拉力构件，一端与所述第一竖向臂相连，另一端与所述第二上横向臂相连；以及两个对向设置的夹持构件，分别安装在所述第一下横向臂的另一端和所述第二下横向臂的另一端，所述夹持构件包括：与所述第一下横向臂的另一端相连的槽型架和用于对所述基片在厚度方向上进行加紧的加紧单元，其中，所述第一上横向臂的侧壁上设有定位槽，该定位槽沿着从所述第一竖向臂到所述第二竖向臂的水平方向延伸，所述第二上横向臂的一端延伸入所述第一上横向臂的内部，所述第二上横向臂的一端与所述拉力构件的另一端相连，并且所述第二上横向臂含有与所述定位槽相对应的定位台，该定位台与所述定位槽相嵌合，使得所述第二上横向臂定向地沿着所述水平方向来回移动。