| 主权项 |
一种非球面的面形检测方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①根据待测非球面（3）制作与之匹配的反射补偿镜（4）：利用光学设计软件优化设计出所述的反射补偿镜（4）的参数，使得透过所述的待测非球面（3）的光束经所述的反射补偿镜（4）反射后原路返回，利用所述的反射补偿镜（4）的参数在金刚石车床上加工所述的反射补偿镜（4）；②在移相干涉仪（1）输出光束方向依次放入标准镜（2）、待测非球面（3）和反射补偿镜（4）；③调整光路：调整所述的标准镜（2）的中轴与所述的移相干涉仪（1）出射的平行光束的光轴重合；调整所述的待测非球面（3）的中轴与移相干涉仪（1）出射光束的光轴重合；调整所述的反射补偿镜（4），使所述的反射补偿镜（4）竖直放入光路中，所述的移相干涉仪（1）出射的光束经所述的标准镜（2）形成测量光束，经所述的标准镜（2）返回的光束称为参考光束；所述的测量光束透过所述的待测非球面（3）再经所述的反射补偿镜（4）反射沿原路返回，该原路返回的测量光束与标准镜（2）返回的参考光束在所述的移相干涉仪（1）中产生干涉条纹；④调整所述的待测非球面（3）和所述的反射补偿镜（4）之间的距离获得完整清晰的干涉条纹，利用所述的移相干涉仪（1）检测干涉条纹，从而得到所述的待测非球面（3）的面形信息。 |
