一种气相沉积用导流防尘控气盘及气相沉积炉内洁净生产的方法

摘要

本发明涉及一种气相沉积用导流防尘控气盘，包括顶盖和侧壁，所述的侧壁的上端与顶盖外边缘固定连接，围成喇叭状结构；所述侧壁的底端敞口为控气盘气体进入端，在所述侧壁上设有水平出气通孔，在侧壁的下端外边缘水平设置有唇边。本发明的导流防尘控气盘整体呈喇叭状，反应气体通过控气盘气体进入端进入控气盘，并沿所述的水平出气通孔喷出，而炉口落下的杂质颗粒却被本控气盘阻挡，沉积于唇边与炉壁之间的空隙中，保证了SiC涂层产品的性能和质量。出气孔水平设置也有效地避免了由于杂质颗粒的沉落而产生的堵塞。

主权项

一种气相沉积用导流防尘控气盘，其特征在于，包括顶盖和侧壁，所述的侧壁的上端与顶盖外边缘固定连接，侧壁整体成喇叭状；在所述侧壁上设有水平出气通孔，在侧壁的底端外边缘水平设置有唇边；所述侧壁的底端敞口为控气盘气体进入端，反应气体通过该控气盘气体进入端进入控气盘，并沿所述侧壁上的水平出气通孔喷出；所述的侧壁为多层圆环形阶梯结构；所述圆环形阶梯包括垂直连接壁，所述的水平出气通孔设在垂直连接壁上；两相邻的垂直连接壁之间是水平的或倾斜的环面。