溅镀式镀膜装置

摘要

一种溅镀式镀膜装置，其用于对待镀工件进行镀膜。溅镀式镀膜装置包括一个中空的工件承载组件及一个靶材组件。该工件承载组件包括多个用来固定该待镀工件且能够自转的料杆。该靶材组件穿过该工件承载组件并与该待镀工件相对。该料杆包括一个本体及至少一个沿该本体向外延伸的调整组件。每个调整组件包括一个固定在该本体上的支撑杆，固设于该支撑杆且沿该支撑杆径向延伸的第一固定杆及第二固定杆，能够伸缩地连接于该支撑杆上且沿该支撑杆径向延伸的第一螺杆及第二螺杆以及一个收容于该支撑杆内的驱动组件。该驱动组件用于驱动该第一螺杆及该第二螺杆伸缩并配合该第一固定杆及该第二固定杆以共同将该待镀工件抵持固定在该支撑杆上。

主权项

一种溅镀式镀膜装置，其用于对待镀工件进行镀膜，该溅镀式镀膜装置包括一个中空的工件承载组件及一个靶材组件；该工件承载组件包括多个用来固定该待镀工件且能够自转的料杆；该靶材组件穿过该工件承载组件并与该待镀工件相对，其特征在于：该料杆包括一个本体及至少一个沿该本体向外延伸的调整组件，每个调整组件包括：一个固定在该本体上的支撑杆；固设于该支撑杆且沿该支撑杆径向延伸的第一固定杆及第二固定杆；能够伸缩地连接于该支撑杆上且沿该支撑杆径向延伸的第一螺杆及第二螺杆；及一个收容于该支撑杆内的驱动组件，用于驱动该第一螺杆及该第二螺杆伸缩并配合该第一固定杆及该第二固定杆以共同将该待镀工件抵持固定在该支撑杆上。