发明名称 |
线缆导向装置以及包含有该装置的工件台系统 |
摘要 |
本发明公开了一种线缆导向装置以及包含该装置的工件台系统,线缆导向装置包括若干个内架和外架,所述的内架和外架沿水平方向彼此交替布置、且依次首尾连接而形成能够展开和合拢的链状结构;所述内架包括两块平行布置的内肋板,两内肋板的两端由中心轴固定在一起,且这两块内肋板之间装有供线缆穿过的线缆槽;所述外架包括两块平行布置的外肋板,这两块外肋板分别布置在所述两内肋板的外侧、并通过轴承与所述中心轴连接。该装置占用空间小,在工作时仅有十分微小的摩擦,避免了装置磨损的现象,可在高纯度环境要求的精密设备上使用。 |
申请公布号 |
CN103133773A |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201110383922.1 |
申请日期 |
2011.11.25 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
刘剑;袁志扬 |
分类号 |
F16L3/015(2006.01)I;F16M13/02(2006.01)I |
主分类号 |
F16L3/015(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种线缆导向装置(2),其特征在于:它包括若干个内架和外架,所述的内架和外架沿水平方向彼此交替布置、且依次首尾连接而形成能够展开和合拢的链状结构;所述内架包括两块平行布置的内肋板(22),两内肋板的两端由中心轴(21)固定在一起,且这两块内肋板之间装有供线缆穿过的线缆槽(25);所述外架包括两块平行布置的外肋板(23),这两块外肋板分别布置在所述两内肋板(22)的外侧、并通过轴承(24)与所述中心轴(21)连接。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张东路1525号 |