发明名称 线缆导向装置以及包含有该装置的工件台系统
摘要 本发明公开了一种线缆导向装置以及包含该装置的工件台系统,线缆导向装置包括若干个内架和外架,所述的内架和外架沿水平方向彼此交替布置、且依次首尾连接而形成能够展开和合拢的链状结构;所述内架包括两块平行布置的内肋板,两内肋板的两端由中心轴固定在一起,且这两块内肋板之间装有供线缆穿过的线缆槽;所述外架包括两块平行布置的外肋板,这两块外肋板分别布置在所述两内肋板的外侧、并通过轴承与所述中心轴连接。该装置占用空间小,在工作时仅有十分微小的摩擦,避免了装置磨损的现象,可在高纯度环境要求的精密设备上使用。
申请公布号 CN103133773A 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201110383922.1 申请日期 2011.11.25
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 刘剑;袁志扬
分类号 F16L3/015(2006.01)I;F16M13/02(2006.01)I 主分类号 F16L3/015(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种线缆导向装置(2),其特征在于:它包括若干个内架和外架,所述的内架和外架沿水平方向彼此交替布置、且依次首尾连接而形成能够展开和合拢的链状结构;所述内架包括两块平行布置的内肋板(22),两内肋板的两端由中心轴(21)固定在一起,且这两块内肋板之间装有供线缆穿过的线缆槽(25);所述外架包括两块平行布置的外肋板(23),这两块外肋板分别布置在所述两内肋板(22)的外侧、并通过轴承(24)与所述中心轴(21)连接。
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