半导体器件的检查装置和其所使用的吸盘台

摘要

本发明的课题为提供一种能够在晶片状态下对在晶片基板的两面具有电极的半导体器件的特性进行高精度测定的半导体器件的检查装置及其所使用的吸盘台。本发明通过提供如下的半导体器件的检查装置来解决上述课题，所述检查装置具有表面电极用探针以及背面电极用探针和吸盘台，在所述吸盘台的上表面，晶片保持部和导电性的探针接触区域相邻地配置，所述探针接触区域与所述晶片保持部电导通，所述表面电极用探与所述背面电极用探针在水平方向上相互隔着距离地配置，以使得在所述表面电极用探针在检查对象晶片内相对移动了时，所述背面电极用探针在所述探针接触区域内相对移动。

主权项

一种半导体器件的检查装置，其特征在于，具有：表面电极用探针以及背面电极用探针、和能够相对于所述表面电极用探针以及背面电极用探针相对移动的吸盘台，在所述吸盘台的上表面，对成为检查对象的晶片进行保持的晶片保持部、和包含与被保持在所述晶片保持部上的最大的晶片相同形状且相同大小的区域的导电性的探针接触区域以相互的区域不重叠的形态相邻地配置，所述晶片保持部中的与晶片背面接触的接触部为导电性的，所述探针接触区域与所述晶片保持部中的所述接触部电导通，所述表面电极用探针和所述背面电极用探针在水平方向上相互隔着距离地配置，以使得在使所述吸盘台移动且所述表面电极用探针在检查对象晶片内相对地移动时，所述背面电极用探针在所述探针接触区域内相对地移动。