发明名称 |
一种TN型阵列基板及其制作方法、显示装置 |
摘要 |
本发明提供了一种TN型阵列基板及其制作方法、显示装置,涉及显示技术领域,解决了现有技术中制作阵列基板曝光次数多、生产周期长、成本高的问题。一种TN型阵列基板的制作方法,包括:在基板上形成第一金属层、栅绝缘层、有源层、第二金属层以及透明导电层的步骤,其中,所述第一金属层包括栅极,所述第二金属层包括数据线,所述透明导电层包括:像素电极;其中,形成所述第二金属层和所述透明导电层具体包括:在基板上依次形成透明导电薄膜和金属薄膜;利用一次构图工艺,形成TFT沟道区、透明导电层和第二金属层。本发明适用于显示装置的制造领域。 |
申请公布号 |
CN103137558A |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201310047920.4 |
申请日期 |
2013.02.06 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
发明人 |
吴松;包杰琼 |
分类号 |
H01L21/77(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/77(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种TN型阵列基板的制作方法,包括:在基板上形成第一金属层、栅绝缘层、有源层、第二金属层以及透明导电层的步骤,其中,所述第一金属层包括栅极,所述第二金属层包括数据线,所述透明导电层包括:像素电极;其特征在于,形成所述第二金属层和所述透明导电层具体包括:在基板上依次形成透明导电薄膜和金属薄膜;利用一次构图工艺,形成TFT沟道区、透明导电层和第二金属层。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |