发明名称 一种高压电应变常数织构压电陶瓷制备方法
摘要 本发明公开了一种高压电应变常数织构压电陶瓷制备方法,属于陶瓷制备工艺技术领域,采用PbO,MgNb2O6,TiO2球磨预烧得到PMN-32.5PT基体粉,使用BaTiO3晶体为种晶,在其中加入5-10vol%种晶以及0.5-3wt%PbO作为助烧剂,得到200μm厚度的基片,将得到的基片叠层、成型及冷等静压处理后,再进行热压烧结得到最终的产品。本发明采用BaTiO3晶体作为种晶,控制其表面附着PbO烧结助剂的量比,使之达到了烧结后与PMNT陶瓷基体达到良好匹配的程度,并通过良好的后期热处理工艺使得陶瓷坯体致密度达到98%以上,从而获得了高品质的高压电应变常数的(001)织构压电陶瓷。
申请公布号 CN101560106B 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN200910107369.1 申请日期 2009.05.21
申请人 深圳市赛天使投资管理有限公司;周绍鑫 发明人 周绍鑫
分类号 C04B35/622(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I;C04B35/495(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I 主分类号 C04B35/622(2006.01)I
代理机构 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 代理人 胡吉科
主权项 一种高压电应变常数织构压电陶瓷制备方法,包括如下步骤:1)按照Pb(Mg1/3Nb2/3)O3‑32.5%PbTiO3化学计量比混合化学纯PbO,MgNb2O6,TiO2球磨6‑10h,并在800‑850℃低温下预烧4‑6小时得到PMN‑32.5PT基体粉;2)将基体粉加入包括溶剂和分散剂的溶解体系的球磨罐中球磨8‑12h,所述的基体粉:溶剂:分散剂=25‑35:8‑10:0.5‑1,所述比例为质量比;3)将增塑剂和粘结剂溶于溶剂后加入球磨罐中球磨8‑12h,所述的增塑剂:粘结剂:溶剂=1‑5:1.5‑3:8‑10,所述比例为质量比;4)将种晶BaTiO3溶于溶剂和分散剂后加入球磨罐中,所述的晶种:溶剂:分散剂=1‑2:5‑8:0.1‑0.3,所述比例为质量比;5)将助熔剂加入球磨罐中,所述的助熔剂为总体系重量分数的0.5‑3wt%PbO,磁力搅拌使之混合均匀,然后以5cm/sec的速度流延得到200μm厚度的基片;6)将得到的基片叠层并80℃真空热压5min,之后80℃热压8h,使之成型并进行冷等静压处理并在700℃常压下排胶1h,在850‑950℃,压强60‑90MPa的热压烧结条件下烧结30min得到成品。
地址 518000 广东省深圳市南山区桃源街道丽山路硅谷大学城创业园A座1010室