包含光导的背侧照明式(BSI)像素

摘要

本申请案涉及包含光导的背侧照明式BSI像素。本发明涉及像素的实施方案，所述像素包含：衬底，其具有前侧、背侧及形成于所述前侧上或其附近的光敏区；电介质层，其形成于所述前侧上；及金属堆叠，其具有底部侧及顶部侧，所述底部侧在所述电介质层上。光导形成于所述电介质层及所述金属堆叠中且从所述衬底的所述前侧延伸到所述金属堆叠的所述顶部侧，所述光导具有等于或大于所述衬底的折射率的折射率。本发明还揭示并主张其它实施方案。

主权项

一种像素，其包括：衬底，其具有前侧、背侧及形成于所述前侧上或其附近的光敏区；电介质层，其形成于所述前侧上；金属堆叠，其具有底部侧及顶部侧，所述底部侧在所述电介质层上；及光导，其形成于所述电介质层及所述金属堆叠中且从所述衬底的所述前侧延伸到所述金属堆叠的所述顶部侧，所述光导具有等于或大于所述衬底的折射率的折射率。