发明名称 | 一种ITO废靶的高效回收方法 | ||
摘要 | 本发明介绍了一种ITO废靶的高效回收方法,采用等离子气化法生产装置,使ITO靶材直接气化生成ITO粉末;整个回收过程在等离子气化装置中完成,该装置中产生稳定等离子电弧,在电弧高温作用下ITO废靶瞬间气化、冷却收集。本发明将等离子气化法生产装置应用到陶瓷废靶回收领域中,成功实现了ITO废靶的高效回收,回收效率可达99%;制备成的ITO粉末颗粒的平均粒径<100nm,颗粒形貌大多呈类球状和四方状,粉末团聚少,可直接用于生产ITO靶材;具有工序简单、自动化程度高、循环再利用周期短、回收率高、成本低、节能环保等明显的优点。 | ||
申请公布号 | CN102367519B | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
申请号 | CN201110273954.6 | 申请日期 | 2011.09.16 |
申请人 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 发明人 | 张雪凤;彭晖;常鹏北;王政红;刘冠鹏 |
分类号 | C22B7/00(2006.01)I | 主分类号 | C22B7/00(2006.01)I |
代理机构 | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人 | 王自刚 |
主权项 | 一种ITO废靶的高效回收方法,其特征是具体工艺为:(1)ITO废靶表面清洁:先将废靶表层明显杂物去除后,放置在有机溶剂中浸泡10~15min,取出擦拭表面有机溶剂或者待有机溶剂挥发完毕,再用以纯水为清洗液进行超声波清洗后,干燥待用;(2)等离子气化法回收ITO废靶:回收过程在等离子气化生产装置中完成,将干燥后的ITO靶材作为阴极放置在等离子气化生产装置反应器中,等离子枪作为阳极,ITO靶材既是被气化体又是导电体,在阴极和阳极之间通入大电流,在此电流产生的电阻热及强磁场对射流的压缩下,产生电弧,使ITO靶变成蒸气,在氧气氛保护下,骤冷形成ITO粉末。 | ||
地址 | 471023 河南省洛阳市洛龙区滨河南路169号 |